作为一种重要的电子级气体，三氯氢硅的主要用途就是用来制造半导体材料。在半导体制造过程中，三氯氢硅通过化学气相沉积（CVD）工艺，可以形成一层致密的二氧化硅薄膜。这层薄膜具有优异的电绝缘性和耐热性，在半导体器件中广泛用作绝缘层和栅极氧化层。它可是保证晶体管正常工作，实现电子产品功能的关键材料。

不仅如此，三氯氢硅还是太阳能电池生产中的重要原料。它可以用来制备多晶硅，而多晶硅正是制作太阳能电池的主要材料。因此，可以说三氯氢硅在清洁能源领域也发挥着重要的作用。